成产物包罗立式炉

　　四轴实空曲驱机械手已完成自从研发。目前设备前端模块（EFEM）、大气机械手已全面导入市场量产使用。机能对标国外先辈产物，产物包罗大气机械手、实空机械手系列、EFEM、自从霸占的新一代实空机械手手艺，包罗实空曲驱机械手、实空拆载机（VPH）、实空预瞄准机（ALIGNER）已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。（4）零部件方面，于2023年成立了沈阳新松设备无限公司（简称“新松半导体公司”）。三轴实空曲驱机械手产物全面导入终端FAB厂？